晶圓鍵合超聲掃描顯微鏡

離線式晶圓超聲掃描顯微鏡
系統(tǒng)內(nèi)無(wú)金屬污染,配置微型環(huán)境(FFU)封裝設(shè)計(jì)
滿足掃描過(guò)程的Class2(100級(jí))清潔度要求
支持高精掃描、快速掃描
可定制晶圓載具
可選配雙探頭
系統(tǒng)內(nèi)無(wú)金屬污染,配置微型環(huán)境(FFU)封裝設(shè)計(jì)
滿足掃描過(guò)程的Class2(100級(jí))清潔度要求
支持高精掃描、快速掃描
可定制晶圓載具
可選配雙探頭