超聲波干式除塵機
應(yīng)用范圍
適用于電池涂布、半導體器件和玻璃基板的除塵。
設(shè)備優(yōu)勢
干式非接觸除塵的方式,避免污染或損傷材料表面
超聲波除塵頭無需維護,只需維護風機及更換濾芯
相比傳統(tǒng)非接觸式風刀除塵,能去除6um以下塵粒
科學設(shè)計的封閉循環(huán)系統(tǒng),不會污染潔凈室
主要參數(shù)
腔體壓力
4-5KPa
負壓口壓力
-4~-1KPa
工作距離
5mm以內(nèi),1.5mm最佳
使用環(huán)境
萬級以下干燥無塵車間
功率
7.5KW/11.5KW
電源
380V,50/60HZ
處理風量
>600m3/h
過濾效率
99%,0.3um精度
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